| Dokumenten Nummer: | ÖNORM EN ISO 14644-10 |
| Klassifikation: | DC* N-E |
| Preisgruppe: | Preisgruppe 20 |
| Bezeichnung: | Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 10: Klassifizierung der chemischen Oberflächenreinheit (ISO/FDIS 14644-10:2021) |
| zitierte Normen: | LGBl. V Nr. 10/2022 (2022 01 31)* ÖNORM EN ISO 14644-10 (2022 10 15) |
| ersetzte Normen: | |
| identische Norm: | |
| Registriert als: | |
| Autor: | Komitee 139 Luftqualität |
| Referenz: | ISO 14644-10 (2021 12) ,IDT* EN ISO 14644-10 (2021 12) ,IDT |
| übersetzt in: | de* en |
| english text: | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 10: Assessment of surface cleanliness for chemical contamination (ISO/FDIS 14644-10:2021) |
| Description: | Dieses Dokument legt geeignete Prüfverfahren zur Bestimmung der Oberflächenreinheit in Reinräumen hinsichtlich vorhandener chemischer Verbindungen oder Elemente (einschließlich Molekülen, Ionen, Atomen und Partikeln) fest. Dieses Dokument ist auf alle fes |
| francoise: | Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 10: Évaluation de la propreté des surfaces en matière de contamination chimique (ISO/FDIS 14644-10:2021) |
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