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| Dokumenten Nummer: | ÖNORM EN ISO 14644-13 |
| Klassifikation: | DC* N-E |
| Preisgruppe: | Preisgruppe 27 |
| Bezeichnung: | Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen (ISO/FDIS 14644-13:2025) |
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| Registriert als: | |
| Autor: | Komitee 139 Luftqualität |
| Referenz: | |
| übersetzt in: | de* en |
| english text: | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 13: Cleaning of surfaces to achieve defined levels of cleanliness in terms of particle and chemical concentration (ISO/FDIS 14644-13:2025) |
| Description: | Dieses Dokument gibt Richtlinien zur Reinigung von Reinraumoberfla¨chen, Oberfla¨chen der Ausru¨stung in einem Reinraum und Oberfla¨chen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Beru¨cksichtigt werden alle relevanten Oberfla¨chen (extern oder intern). Es gibt Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Stufen der partikula¨ren Oberfla¨chenreinheit (en: surface clean-liness by particle concentration, SCP) und der chemischen Oberfla¨chenreinheit (en: surface cleanliness by chemical concentration, SCC) und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade beru¨cksichtigt werden sollten. Bei der Eignung von Reinigungstechniken wird auf die Reinheitsstufen und die damit verbundenen Pru¨fverfahren aus ISO 14644-9 und ISO 14644-10 verwiesen. Dieses Dokument gibt allgemeine Anleitungen zu Folgendem: ¿ die erwarteten Oberfla¨chenreinheitsgrade; ¿ die Eignung der Reinigungsverfahren; ¿ die Kompatibilita¨t von Oberfla¨chen mit der Reinigungstechnik; ¿ die Bewertung der Eignung fu¨r die Reinigung. Das Folgende wird in diesem Dokument nicht beru¨cksichtigt: ¿ die Klassifizierung von Reinigungsverfahren; ¿ das innerhalb eines Reinraums hergestellte Produkt; ¿ die spezifische Oberfla¨che in Bezug auf die Reinigungsverfahren; ¿ die detaillierte Beschreibung von Reinigungsmechanismen, -verfahren sowie Verfahrensweisen von ver- schiedenen Reinigungsverfahren; ¿ die detaillierten Materialkenngro¨ßen; ¿ die Beschreibung von Mechanismen hinsichtlich Scha¨den durch die Reinigungsprozesse und zeitabha¨ngigen Auswirkungen; ¿ Verweisungen auf interaktive Bindungskra¨fte zwischen den Kontaminanten und Oberfla¨chen oder Generierungsprozesse, die u¨blicherweise zeit- und prozessabha¨ngig sind; ¿ weitere Kenngro¨ßen von Partikeln, beispielsweise elektrostatische Ladung, Ionenladungen usw.; ¿ die chemischen Reaktionen zwischen molekularen Kontaminanten und Oberfla¨chen; ¿ die mikrobiologischen Aspekte der Oberfla¨chenreinheit; ¿ die radioaktiven Aspekte der Kontamination; ¿ die Aspekte des Gesundheitsschutzes und der Arbeitssicherheit; ¿ die Umweltaspekte, beispielsweise Abfallentsorgung, Emissionen usw.; ¿ die Auswahl und Anwendung von statistischen Verfahren. |
| francoise: | Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 13: Nettoyage des surfaces afin d'obtenir des niveaux de propreté par rapport aux classifications particulaire et chimique (ISO/FDIS 14644-13:2025) |
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