| Dokumenten Nummer: | ÖNORM EN ISO 14644-14 |
| Klassifikation: | DC* N-E |
| Preisgruppe: | Preisgruppe 20 |
| Bezeichnung: | Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche - Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (ISO/FDIS 14644-14:2025) |
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| Registriert als: | |
| Autor: | Komitee 139 Luftqualität |
| Referenz: | |
| übersetzt in: | de* en |
| english text: | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 14: Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO/FDIS 14644-14:2025) |
| Description: | Dieses Dokument legt eine Methodik zur Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Gera¨ten (z. B. Maschinen, Messgera¨te, Prozessausru¨stung, Komponenten und Werkzeuge) fu¨r die Anwendung in Reinra¨umen und zugeho¨rigen kontrollierten Bereichen in Bezug auf die luftgetragene Partikelreinheit nach den Festlegungen in ISO 14644-1 fest. Der Partikelgro¨ßenbereich reicht von 0,1 µm bis gleich oder gro¨ßer als 5 µm (in ISO 14644-1 angegeben). ANMERKUNG Sofern die zusta¨ndigen Beho¨rden erga¨nzende Richtlinien oder Einschra¨nkungen vorgeben, ko¨nnen geeignete Anpassungen der Methodik zur Bewertung erforderlich sein. Dieses Dokument ist nicht fu¨r Folgendes anwendbar: ¿ Bewertung der Tauglichkeit in Bezug auf die Biokontamination; ¿ Pru¨fung zur Tauglichkeit von Dekontaminationsmitteln und -techniken; ¿ Reinigungsfa¨higkeit der Gera¨te und Materialien; ¿ Anforderungen an die konstruktive Auslegung von Gera¨ten und die Auswahl von Materialien; ¿ physikalische Materialeigenschaften (z. B. elektrostatische, thermische Eigenschaften); ¿ Optimierung der Gera¨teleistung fu¨r spezifische Prozessanwendungen; ¿ Auswahl und Anwendung statistischer Verfahren fu¨r die Pru¨fung; ¿ Protokolle und Anforderungen hinsichtlich regionaler Sicherheitsvorschriften. |
| francoise: | Salles propres et environnements maîtrisés apparentés - Partie 14: Évaluation de l'aptitude à l'emploi des équipements par la détermination de la concentration de particules en suspension dans l'air (ISO/FDIS 14644-14:2025) |
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