Dokumenten Nummer: | ÖNORM EN ISO 23131 |
Klassifikation: | DC* N-E |
Preisgruppe: | FM=22 |
Bezeichnung: | Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021) |
zitierte Normen: | II=EN ISO 23131 (2022 07) ,IDT* ISO 23131 (2021 04) ,IDT |
ersetzte Normen: | RX=ÖNORM EN ISO 23131 (2023 02 15) |
identische Norm: | AS= |
Registriert als: | AD=Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-Vis-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkred |
Autor: | Komitee 050 Beschichtungsstoffe |
Referenz: | PQ=Preisgruppe 13 |
übersetzt in: | de* en |
english text: | Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021) |
Description: | CT=Grundlage* Grundlagen* optisch* dielektrisch* dielektrische Konstante* Konstante* UV* spektral* Spektralbereich* Schichtdicke* Fertigungskontrolle* Qualitätssicherung* Material* Prüflaboratorium* Laboratorien* Messsystem |
francoise: | Ellipsométrie - Principes (ISO 23131:2021) |
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