Dokumenten Nummer: | ÖNORM EN ISO 23131 |
Klassifikation: | ST* N |
Preisgruppe: | FM=22 |
Bezeichnung: | Ellipsometrie - Grundlagen (ISO 23131:2021) |
zitierte Normen: | II=ISO 23131:2021 (2021) ,IDT* EN ISO 23131 (2022 11) ,IDT |
ersetzte Normen: | RX= |
identische Norm: | AS= |
Registriert als: | AD=Dieses Dokument legt ein Verfahren zur Bestimmung optischer und dielektrischer Konstanten im UV-VIS-NIR-Spektralbereich sowie von Schichtdicken im Bereich der at-line-Fertigungskontrolle, der Qualitätssicherung und der Materialentwicklung durch akkred |
Autor: | Komitee 050 Beschichtungsstoffe |
Referenz: | PQ=Preisgruppe 17 |
übersetzt in: | de* en |
english text: | Ellipsometry - Principles (ISO 23131:2021) |
Description: | CT=Reflexion* Fertigungskontrolle* Oberflächeneigenschaft* Spektralbereich* Schichtdickenmessung* Schicht* Qualitätssicherung* Produktionskontrolle* optisch* metallisch* Ellipsometrie* Messverfahren* Licht* Konstante* Bestimmung der Dielektrizitätskonstanten* polarisiert* B |
francoise: | Ellipsométrie - Principes (ISO 23131:2021) |
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